วงรีคืออะไร?

ellipsometry เป็นเทคนิคทางแสงสำหรับการวัดความหนาและคุณสมบัติทางแสงของฟิล์มบาง ๆ หรือชั้นของวัสดุคุณสมบัติที่วัดได้คือดัชนีการหักเหของแสงหรือแสงที่โค้งงอมากแค่ไหนและระดับของการดูดซับแสงที่เรียกว่าค่าสัมประสิทธิ์การดูดซับเครื่องวัดวงรีเป็นอุปกรณ์ที่ใช้ในการวัดเหล่านี้ellipsometers ทำงานโดยการส่องแหล่งแสงที่กำหนดไว้อย่างดีบนวัสดุและจับภาพสะท้อนรูปวงรีที่ทันสมัยใช้เลเซอร์โดยทั่วไปแล้วเลเซอร์ฮีเลียม-นีออนเป็นแหล่งที่มาลำแสงรูปวงรีแรกผ่านโพลาไรเซอร์เพื่อให้มีเพียงแสงที่ปรับทิศทางในทิศทางที่รู้จักเท่านั้นที่จะผ่านจากนั้นจะผ่านอุปกรณ์ที่เรียกว่าตัวชดเชยซึ่งเป็นรูปไข่โพลาไรซ์ลำแสงแสงที่เหลือจะถูกเด้งออกจากวัสดุภายใต้การศึกษา

การวิเคราะห์ขึ้นอยู่กับกฎหมายของ Snells;เมื่อลำแสงของแสงตีวัสดุบางอย่างจะสะท้อนทันทีและบางคนจะผ่านไปทางด้านไกลของวัสดุก่อนที่จะสะท้อนโดยการวัดความแตกต่างระหว่างการสะท้อนทั้งสองความหนาของอุปกรณ์สามารถกำหนดได้แสงที่สะท้อนกลับยังผ่านการเปลี่ยนแปลงในโพลาไรเซชัน;การเปลี่ยนแปลงนี้ใช้ในการคำนวณดัชนีการหักเหของแสงและค่าสัมประสิทธิ์การดูดซับ

สำหรับเครื่องวัดวงรีเพื่อทำงานอย่างถูกต้องวัสดุที่ถูกตรวจสอบจะต้องตอบสนองคุณสมบัติทางกายภาพบางอย่างตัวอย่างจะต้องประกอบด้วยเลเยอร์ที่กำหนดไว้อย่างดีจำนวนน้อยเลเยอร์จะต้องเป็นเนื้อเดียวกันมีโครงสร้างโมเลกุลที่เหมือนกันในทุกทิศทางและสะท้อนแสงจำนวนมากหากมีการละเมิดข้อกำหนดใด ๆ เหล่านี้ขั้นตอนมาตรฐานจะไม่ทำงานพวกเขาใช้กันอย่างแพร่หลายในการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ที่มีการปลูกวัสดุชั้นต่อเนื่องทางเคมีซึ่งกันและกันell ellipsometry ไม่ทำลายวัสดุที่วัดโดยเครื่องวัดวงรีไม่ได้รับผลกระทบจากกระบวนการเนื่องจากคุณลักษณะนี้การใช้วงรีวงรีในวิทยาศาสตร์ชีวภาพจึงเพิ่มขึ้นวัสดุทางชีวภาพมีความสม่ำเสมอน้อยกว่าวัสดุที่ผลิตและโดยทั่วไปไม่มีลักษณะทางกายภาพที่จำเป็นสำหรับวงรีแบบดั้งเดิมเทคนิคใหม่ ๆ เช่นการใช้จุดวงรีหลายตัวที่จัดเรียงในมุมที่แตกต่างกันได้รับการพัฒนาเพื่อทำงานกับวัสดุดังกล่าว